装精求度高。综合设备投入、设备安装及基建等因素，3500Nm3/h以下的设备，同工业制氮有三种类型： 1、膜空分制氮 以空气为原料，在一定压力条件下，使用氧和氮等气体在膜中具有不同的渗透速率来使氧和氮分离。和其它制氮设备比较它具有构造更为简单、体积更小、无切换阀门、维护方便、产气更快(≤3分钟)、增容方便等特点，它格外适合氮气纯度≤98%的中、小型氮气用户，有好的性价比。而氮气纯度在98%以上时，它与相同标准的PSA制氮设备比较投入要高出15%以上。 2、深冷空分制氮 深冷空分制氮是一种传统的制氮方法。它是以空气为原料，经过压缩、净化，再使用热交换方式使空气变成液态。其主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同(在正常大气压情况下，前者的沸点为-183℃，后者的沸点为-196℃)，经过精馏工艺，使它们分离取得氮气。深冷空分制氮设备杂乱、占地面积大，基建费用较高，设备一次性投入较大，运转成本较高，产气周期较长(12～24h)，设备安装精求度高。 综合设备投入、设备安装及基建等因素，3500Nm3/h以下的设备，同样标准的PSA制氮设备的投资规模要比深冷空分设备低20%～50%。深冷空分制氮设备适宜大规模工业制氮，而中、小规模制氮显得不经济。 3、分子筛制氮 以空气为原料，以碳分子筛作为吸附剂，运用变压吸附原理，使用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧分离的办法，通称PSA制氮。此法是七十年代快速发展起来的一种新的制氮技能。与传统制氮法相比较，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，纯度可在较大范围内依据用户需求进行调节，操作维护简便、运行成本较低、设备适应性强等特点，故在1000Nm3/h以下制氮设备中颇具竞争力，越来越得到使用中、小型氮气机用户的青睐，PSA制氮装置已变成中、小型氮气用户的。

氮气纯化装置是利用物理或化学的方法,除去氮气中杂质的装置总称。氮气纯化装置是以变压吸附制得的粗氮为原料，经加氢催化除氧，冷凝水吸附两级干燥除尘，去除氮气中的氧、水汽和尘埃等杂质，从而获得高纯度的氮气。 氮气纯化装置具有良好的气密性及抗污染能力，加热氮气纯化装置采用内热式结构，容器外围采用新颖的保温材料，散热小，能耗低，无污染。工艺上采用复式流程，能连续工作。该设备用于工业上氮气除杂，主要除去的是氮气中的氧气，以提高氮气的纯度。 1、采用加氢脱氧与吸附脱氧相结合的方式，保证产品氮气中氢气含量≤lppm，氧气含量≤Ippm; 2、运行条件温和，运行温度不超过200°C，而一般的吸附脱氧运行温度在350°C左右，使得生产过程中的能耗和成本大大提高； 3、干燥剂再生气采用内循环方式，无再生气体放空，避免了浪费； 4、通过分析脱氧系统中气体的氢、氧含量来调节气动调节阀I的开度，进而调节氢气的进气量，整个过程自动化程度高，降低了工作强度。