装精求度高。综合设备投入、设备安装及基建等因素，3500Nm3/h以下的设备，同工业制氮有三种类型： 1、膜空分制氮 以空气为原料，在一定压力条件下，使用氧和氮等气体在膜中具有不同的渗透速率来使氧和氮分离。和其它制氮设备比较它具有构造更为简单、体积更小、无切换阀门、维护方便、产气更快(≤3分钟)、增容方便等特点，它格外适合氮气纯度≤98%的中、小型氮气用户，有好的性价比。而氮气纯度在98%以上时，它与相同标准的PSA制氮设备比较投入要高出15%以上。 2、深冷空分制氮 深冷空分制氮是一种传统的制氮方法。它是以空气为原料，经过压缩、净化，再使用热交换方式使空气变成液态。其主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸点不同(在正常大气压情况下，前者的沸点为-183℃，后者的沸点为-196℃)，经过精馏工艺，使它们分离取得氮气。深冷空分制氮设备杂乱、占地面积大，基建费用较高，设备一次性投入较大，运转成本较高，产气周期较长(12～24h)，设备安装精求度高。 综合设备投入、设备安装及基建等因素，3500Nm3/h以下的设备，同样标准的PSA制氮设备的投资规模要比深冷空分设备低20%～50%。深冷空分制氮设备适宜大规模工业制氮，而中、小规模制氮显得不经济。 3、分子筛制氮 以空气为原料，以碳分子筛作为吸附剂，运用变压吸附原理，使用碳分子筛对氧和氮的选择性吸附而使氮和氧分离的办法，通称PSA制氮。此法是七十年代快速发展起来的一种新的制氮技能。与传统制氮法相比较，它具有工艺流程简单、自动化程度高、产气快(15～30分钟)、能耗低，纯度可在较大范围内依据用户需求进行调节，操作维护简便、运行成本较低、设备适应性强等特点，故在1000Nm3/h以下制氮设备中颇具竞争力，越来越得到使用中、小型氮气机用户的青睐，PSA制氮装置已变成中、小型氮气用户的。

真空热处置（管壳式换热器）是国内外已经使用的较为 的热处置方式，直到真空热处置之中，常常离不开采用氮气。 比如，如果冶金件从真空炉之中加热时，若是真空水平过高，则作为避免工件物料之中的合金元素挥发性，需对于炉中回充适量的氮气，借以提离炉内少量气体的阻力。 亦如，在真空加热油淬的真空淬火流程之中，常常为了确保或是提升淬火油的冷却技能，需在工件冷却时，往真空炉之中回充充足的氮气。 直到高压气淬时，需迅速往真空炉之中充入大于一个大气压的氮气。从钢件（钢件的弯曲采用弯管机）真空回火时，直到抽真空之后需回充氮气以此构建炉内保障液体重复均匀加热，及做到回火之后的快速冷却。 真空热处置所需的氮气，有各种有所不同的来源。因为制氮机液氮的密度远远高于氮气强，尺寸远高于氮气少，易于交通以及储藏，因此在大量供应时定价反而比较低廉。而且，液氮是真空热处置所用氮气的关键原因之一。工业生产中氮气的生产采用制氮机。 从国外和中国广东等地区，有不少厂商就要采用比较大的专属储存罐，放置由液氮供给厂家专车运载来的液氮，并且将经由液氮渐渐汽化而成的氮气用作真空热处置。 他们相信，采用液氮相比采用瓶装氮气或者使用制氮方法氮经济合算。 当然，是用液氮合算，还是用瓶装氮气或者制氮机供氮合算，这和当地的气源情况、及高温处置制造厂用氮气量的大小等具体情况有关。液氮的价钱不仅和其含量的强弱有关，和一次购入量的多少亦相关。