制氮机低能耗制氮是空气冷却后在精馏塔顶获得氮气，这一部分被冷凝当做液氮，一部分当做是产品液氮，其余当做回流液返回塔顶部。其中一部分氮气是进入换热器复热到常温，再经膨胀机增压端增压送入用户氮气输送的管网里。 塔底获得富氧液空，进入换热器被冷流体过冷，节流再入冷凝蒸发器作为冷源与氮气进行换热，蒸发的富氧气进入换热器被复热后再入膨胀机膨胀制冷，膨胀后的低压富氧气体进入换热器复热引出。本发明通过富氧气膨胀输出的功增压氮气，降低了压缩机排压从而降低了能耗，以及液空被低压富氧气、氮气和压力富氧气等各种冷流体换热过冷，降低空气的含湿量提高提取率，降低能耗１５～２３％，水耗１４～２２％，经济效益十分可观。 一种低能耗制氮方法，其特征在于，包括如下步骤： ａ）制氮机压缩并净化的空气引入换热器进行低温冷却； ｂ）冷却后的空气送入精馏塔，在精馏塔从下而上在塔板或填料上与自上而下的液体进行传热传质，在塔顶获得氮气； ｃ）从精馏塔底部引出富氧液空，再进入换热器里面进行冷换热，在节流以后是会进入冷凝蒸发器当做冷源，富氧液空是在冷凝蒸发器里面蒸发以后再产生压力富氧气送入。换热器在复热后以后再送到膨胀机进行制冷， 终低压富氧气以后能常温被排出，驱动膨胀机增压端是可以增压氮气。

氢与氧在脱氧催化剂的作用下反应生成水，从而达到脱氧的目的。在传统工艺中该工序采用氧化铝为担体的脱氧催化剂，该类型催化剂为单一催化机理，完全靠加入的氢脱除气体中的氧。 由于原料气（污氮）常有剧烈波动，而且加氢调节阀的调节受到测氧仪、流量计等仪表相应时间的限制，加氢调节有一定滞后（1-10分钟），无法实时的跟踪原料气的变化。因此传统工艺中经常会出现产品气指标短时间大幅超标问题，无法始终保持产品指标合格，常对生产造成严重影响。 在本装置中采用特殊的脱氧催化剂。该催化剂是一种以可变价金属为担体担载贵金属组分的双机理脱氧催化剂，可以作为钯催化剂催化氢与氧反应而脱氧；在氢含量不足的情况下，可以作为脱氧剂直接脱除气体中的微量氮；在氢含量超标的情况下也可以脱除气体中的过量氢。该催化剂可在一定的氢、氧浓度下建立一个化学反应速度平衡。